勻膠旋涂儀通過高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力將滴加在基片表面的膠液均勻鋪展，形成納米至微米級厚度的薄膜。
勻膠旋涂儀的構(gòu)成：
1、旋轉(zhuǎn)平臺：放置基底的核心部件，通常采用真空吸附或機械夾持固定基底，材質(zhì)多為耐腐蝕金屬或陶瓷。
2、驅(qū)動系統(tǒng)：由高精度電機驅(qū)動，可準確控制旋轉(zhuǎn)速度和加速度，確保轉(zhuǎn)速穩(wěn)定。
3、控制系統(tǒng)：通過微處理器或 PLC 實現(xiàn)自動化控制，可預設(shè)旋轉(zhuǎn)程序，部分機型支持觸摸屏操作和數(shù)據(jù)存儲。
4、防護裝置：包括透明防護罩、廢液收集槽，部分機型配備通風系統(tǒng)。
5、滴膠輔助裝置：部分設(shè)備集成自動滴膠系統(tǒng)，可精準控制滴膠量和滴膠位置，減少人為操作誤差。
關(guān)鍵參數(shù)：
1、轉(zhuǎn)速范圍：通常為 100-10000 rpm，部分設(shè)備可達 20000 rpm 以上，轉(zhuǎn)速精度直接影響薄膜均勻性。
2、旋轉(zhuǎn)時間：可設(shè)置 0.1 秒至數(shù)分鐘，多段時間 - 轉(zhuǎn)速組合滿足復雜涂覆需求。
3、加速度/減速度：控制轉(zhuǎn)速變化的快慢，避免液體因劇烈加速而飛濺或分布不均。
4、基底尺寸：支持圓形或方形，不同機型適配范圍不同。
5、真空吸附力：確保基底在高速旋轉(zhuǎn)時不位移，吸附力需根據(jù)基底材質(zhì)和厚度調(diào)整。
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